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薄膜材料制备原理、技术及应用




作者:唐伟忠
中图分类:工业技术 ->化学工业 ->高分子化合物工业(高聚物工业)
学科分类:工程学(二) ->化学工程
出版日期:1998-5-1
主题词:薄膜-生产工艺-塑料薄膜-塑料
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内容简介

    本书以薄膜材料为中心,系统地讨论了薄膜技术中常用的真空技术基础知识、各种物理和化学气相沉积技术和方法、薄膜材料的形核及生长理论、薄膜材料微观结构的形成以及薄膜材料的厚度、微观结构和成分的表征方法等。
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