高等电子光学




作者:唐天同
中图分类:数理化 ->物理学
出版日期:1996-03-01
主题词:电子光学-高等学校-教材
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内容简介

    全书从统一的角度论述了应用于电子束器件、电子显微学、质谱学、微分析与表面分析、微电子工艺技术,加速器与核科学技术及电子束工艺技术等方面的现代电子光学的共有理论基础、分析方法与主要的最新进展。
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