硅—氮合成氮化硅的机理和动力学




作者:张长瑞
中图分类:工业技术 ->无线电、电信 ->半导体技术
出版日期:
主题词:动力学|氮化机理|氮化硅
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内容简介

    专业:无机非金属材料|学位:硕士
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