电子工业生产中的环境控制




作者:[美] P. W. 莫里
中图分类:工业技术 ->无线电、电信 ->微电子学、集成电路(IC)
出版日期:1982-06
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内容简介

    本书论述了电子工业制造中的超净技术,对半导体集成电路制造工艺的环境净化技术的基本原理、测量方法以及各种净化设备作了系统的阐述。
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