半导体材料的分析




作者:冶金工业部科学技术情报产
中图分类:工业技术 ->无线电、电信 ->半导体技术
出版日期:1966-04
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内容简介

    本书叙述了高纯度的硅、二氧化硅、三氯化硅、四氯化硅等半导体材料及其中产品中痕量杂质元素的测定方法。
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