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收起
06311248
表面分析
作者:（日）染野檀|编：（日）
中图分类:
工业技术
->
一般工业技术
->
工程材料学
学科分类:
工程学(一)
->
材料科学
出版日期:1980-12
主题词:
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收 藏
这个是隐藏的空行
内容简介
本书叙述这些方面的基础、测量方法及测量结果的分析方法，同时列举主要应用实例。
目录
第一章 表面分析概论
12
阅读
1.1引言
12
阅读
1.2采用离子、电子、光子（电磁波）的各種表面分析方法
14
阅读
1.2.1电子、离子同原子的碰撞
16
阅读
1.2.2粒子在固体内的散射
18
阅读
1.2.3固体原子的激发和离子、电子、光子的发射
19
阅读
1.3采用离子的表面分析方法
20
阅读
1.3.1离子探针显微分析仪
21
阅读
1.3.2离子照射产生的效应
21
阅读
1.4电子能谱
23
阅读
1.4.1光谱分析和电子能谱
23
阅读
1.4.2光电子能谱
25
阅读
1.4.3俄歇电子能谱
27
阅读
1.4.4激发体积和探测深度
29
阅读
1.4.5化学效应和状态分析
30
阅读
1.5使用各种表面分析方法的注意事项
30
阅读
第二章 离子探针显微分析的基础
34
阅读
2.1引言
34
阅读
2.2原理
35
阅读
2.2.1溅射
36
阅读
2.2.2溅射引起的二次离子发射
42
阅读
2.2.3离子光学系统
47
阅读
2.3装置
51
阅读
2.3.1一次离子照射系统
52
阅读
2.3.2二次离子引出系统
57
阅读
2.3.3质谱仪
59
阅读
2.3.4二次离子探测系统
61
阅读
2.3.5二次离子象观测系统
63
阅读
2.3.6真空系统和气体导入系统
65
阅读
2.3.7样品台
66
阅读
2.3.8特殊功能
67
阅读
2.3.9市售裝置
69
阅读
2.4测量技术
71
阅读
2.4.1装置的一般处理
71
阅读
2.4.2样品的制备
72
阅读
2.4.3体内分析
73
阅读
2.4.4表面和薄膜的分析
74
阅读
2.4.5纵向分析
77
阅读
2.4.6绝缘体样品的分析
84
阅读
2.4.7同位素比的测定
84
阅读
2.4.8二次离子象
84
阅读
2.4.9特殊的测量技术
85
阅读
2.5分析技术
86
阅读
2.5.1质谱的鉴定法
86
阅读
2.5.2纵向浓度分布
91
阅读
2.5.3定量分析法
94
阅读
第三章 离子探针显微分析的应用
103
阅读
3.1引言
103
阅读
3.2在金属学中的应用
103
阅读
3.2.1合金元素的微量分析
104
阅读
3.2.2氧化覆膜、腐蚀面
111
阅读
3.2.3表面处理覆膜、表面污染
113
阅读
3.2.4晶粒间界的分析
116
阅读
3.2.5氢的分析
117
阅读
3.2.6其它
118
阅读
3.3在半导体材料方面的应用
119
阅读
3.3.1微量杂质的测定
120
阅读
3.3.2表面污染物的分析
123
阅读
3.3.3纵向浓度分布的测量
127
阅读
3.3.4界面杂质的分析
129
阅读
3.4在表面和薄膜方面的应用
131
阅读
3.4.1蒸发膜中杂质的分析
132
阅读
3.4.2薄膜的界面分析
133
阅读
3.4.3三维分析
136
阅读
3.4.4单分子层的分析
137
阅读
3.5其它应用
141
阅读
3.5.1陶瓷
141
阅读
3.5.2催化剂
143
阅读
3.5.3表面反应、电化学方面的应用
144
阅读
第四章 俄歇电子能谱的基础
146
阅读
4.1引言
146
阅读
4.2原理
148
阅读
4.2.1原子的俄歇电子发射
148
阅读
4.2.2固体的俄歇电子发射
149
阅读
4.2.3离子数的空间密度分布
150
阅读
4.2.4俄歇跃迁几率和产额
154
阅读
4.2.5低能电子的吸收系数
156
阅读
4.2.6俄歇电子的产生和角分布
159
阅读
4.3装置
161
阅读
4.3.1一次探针系统和能量分析系统
161
阅读
4.3.2结构和功能
164
阅读
4.3.3一次电子束照射系统
165
阅读
4.3.4筒镜型电子能量分析器
165
阅读
4.3.5测量系统
167
阅读
4.3.6真空系统、气体导入系统
169
阅读
4.3.7其它部件
173
阅读
4.3.8现用装置
175
阅读
4.4测量技术
175
阅读
4.4.1装置的一般操作步骤
175
阅读
4.4.2能谱测定法
176
阅读
4.4.3纵向分析
178
阅读
4.4.4显微分析
181
阅读
4.4.5样品的制备和处理方法
185
阅读
4.4.6清洁表面和高纯气体的导入
188
阅读
4.4.7特殊测量技术
190
阅读
4.5分析技术
193
阅读
4.5.1俄歇能谱图的观察
193
阅读
4.5.2化学效应
196
阅读
4.5.3灵敏度和分辨本领
199
阅读
4.5.4定量研究
202
阅读
第五章 俄歇电子能谱的应用
208
阅读
5.1引言
208
阅读
5.2在污染分析、表面检查方面的应用
209
阅读
5.3在金属、半导体方面的应用
210
阅读
5.3.1表面与气体反应的观察
210
阅读
5.3.2表面层的物质迁移
212
阅读
5.3.3纵向分析
216
阅读
5.3.4合金的表面组分
218
阅读
5.3.5在半导体器件方面的应用
219
阅读
5.3.6存在的问题及今后的方向
223
阅读
5.4在薄膜、厚膜、多层膜方面的应用
223
阅读
5.4.1膜表面的分析
223
阅读
5.4.2薄膜的纵向分析
225
阅读
5.4.3薄膜-衬底界面的观察
227
阅读
5.5在晶粒间界方面的应用
229
阅读
5.6在晶体生长方面的应用
232
阅读
5.6.1薄膜生长过程的就地观察法
232
阅读
5.6.2衬底-膜系统的俄歇电子信号强度
233
阅读
5.6.3单层生长和成核生长模式的判断
236
阅读
5.6.4分子束外延
238
阅读
5.7在化学方面的应用
240
阅读
5.7.1电化学有关的问题
240
阅读
5.7.2玻璃、陶瓷表面的观察
241
阅读
5.7.3在催化科学方面的应用
242
阅读
5.7.4在其它领域方面的应用
245
阅读
5.8应用中的注意事项
246
阅读
5.8.1分析处理方法和谱图整理方法
246
阅读
5.8.2分析结果的可靠性及其讨论
247
阅读
5.8.3目前存在问题
248
阅读
第六章 光电子能谱的基础
253
阅读
6.1引言
253
阅读
6.1.1光电子能谱测量原理
254
阅读
6.1.2电子能级特性和电子发射过程
255
阅读
6.2装置
258
阅读
6.2.1装置的基本结构
258
阅读
6.2.2电子能量分析器
259
阅读
6.2.3X射线源
263
阅读
6.2.4样品室和真空抽气系统
267
阅读
6.2.5测量设备和电源
268
阅读
6.2.6样品台
270
阅读
6.2.7样品处理室
270
阅读
6.3测定
271
阅读
6.3.1测定步骤
271
阅读
6.3.2样品的预处理和安装
272
阅读
6.3.3真空中的样品处理及注意事项
273
阅读
6.3.4测定注意事项
276
阅读
6.3.5其它样品的处理
281
阅读
6.4真空紫外光激发的光电子能谱法
282
阅读
6.4.1装置
282
阅读
6.4.2紫外光电子能谱仪的测定法
284
阅读
6.5光电子能谱的分析
286
阅读
6.5.1化学位移
286
阅读
6.5.2副峰
293
阅读
6.5.3峰强度
299
阅读
第七章 光电子能谱的应用
302
阅读
7.1引言
302
阅读
7.2有机化合物光电子能谱
303
阅读
7.2.1碳
303
阅读
7.2.2氧
309
阅读
7.2.3氮
310
阅读
7.2.4硫
311
阅读
7.3无机化合物的光电子能谱
313
阅读
7.3.1简单无机化合物
313
阅读
7.3.2过渡金属化合物
315
阅读
7.3.3氧化物
320
阅读
7.3.4络合物
323
阅读
7.4金属和合金的光电子能谱
325
阅读
7.4.1单质金属
325
阅读
7.4.2合金
329
阅读
7.4.3强磁性金属
330
阅读
7.5在吸附方面的应用
330
阅读
7.5.1吸附分子的束缚能
332
阅读
7.5.2表面覆盖系数
333
阅读
7.5.3基于吸附的光电子能谱
334
阅读
7.6在催化剂表面方面的应用
345
阅读
7.6.1内壳层电子的束缚能
346
阅读
7.6.2化学位移
346
阅读
7.6.3谱峰宽度的变化、同载体的相互作用
351
阅读
7.6.4副峰
353
阅读
7.6.5谱强度
354
阅读
7.6.6价电子能带结构
355
阅读
7.7气体分子的X射线光电子能谱
356
阅读
7.7.1甲烷、氨和水的X射线光电子能谱
357
阅读
7.7.2能谱分析
358
阅读
附表
364
阅读
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